초순수(UPW)는 극미량 불순물도 허용되지 않는 공정에서 사용되는 고순도 공정수로, 반도체 및 디스플레이뿐 아니라 배터리, 첨단소재, 정밀부품, 광학, 제약, 바이오, 분석, 세정, 표면처리 등 다양한 분야에서 사용되며 공정수의 수질은 활용 제품 품질과 공정 안정성에 영향을 미칩니다.
특히 TOC(총유기탄소) 는 초순수 내 유기오염 정도를 나타내는 핵심 지표로, 아주 낮은 농도 변화도 공정에 영향을 줄 수 있습니다.
TOC가 높아지면 표면에 유기물이 잔류 및 흡착되어 오염과 결함이 증가하고, 공정 재현성이 저하될 수 있습니다. 또한 유기물은 미생물 성장의 기반이 되어 배관과 탱크 내부 오염 위험을 높이고, 후단 정제 설비의 부하를 증가시킵니다.
자외선 산화 시스템(TOC-UV)은 초순수 생산 공정 내에서 TOC를 저감하는 설비로, UV를 기반으로 잔류 및 미량 유기물을 산화 시켜 최종 공정수의 목표 수질을 안정적으로 유지하도록 합니다.
